晶芯半导体：补足再生晶圆国产空白

　　4日，晶芯半导体（黄石）有限公司（以下简称“晶芯半导体”）无尘车间内，工作人员正操作设备对研磨后的晶圆进行抛光处理。

　　据悉，该公司是国内首家晶圆再生工厂，主要对12英寸晶圆制造使用的测试片表面进行处理，通过去除蚀刻的电路图、金属等附着物，实现回收再生、循环利用，补足了再生晶圆国产空白。该公司总经理陶盛表示：“晶圆厂需要大量的陪片、测试片。在使用过程中，这些片子会产生损伤。我们将受损硅片清洗抛光，重新生成12英寸的硅片，既环保又节省资源。”

　　日前，在2024年第九届“创客中国”湖北省中小企业创新创业大赛决赛上，该公司的12英寸晶圆再生项目获企业组二等奖。作为集成电路产业链的关键环节，晶圆再生工艺的自主可控对保证本土供应链安全、提高我国集成电路产业竞争力具有重要意义。

　　“科技创新是企业发展的不竭动力，我们始终坚持科技创新，不断满足客户需求。”陶盛介绍，国内集成电路飞速发展，对晶圆再生要求不断提高，该公司近年来不断进行技术迭代，晶圆再生硅片的颗粒从不超过40纳米精准至20纳米。2023年底，集成电路企业中芯国际提出19纳米工艺的要求，该公司研发团队目前正全力攻关，在现有设备基础上开发新技术。

　　为助力企业发展，2021年9月，晶芯半导体还投资1000万元建设了晶圆再生创新工作室，自成立以来，该工作室持续助力厂内关键原物料的品质监控与工艺提升，已完成数十家客户对标工作，为晶芯半导体快速通过客户验证拿到订单奠定了坚实基础。

　　技术创新为企业发展插上了腾飞的翅膀。今年8月，省科技厅发布2024年拟入库湖北省科创“新物种”企业公示名单，晶芯半导体成功入选“潜在独角兽”企业名单，也是今年全市唯一一家入选该种类的企业。展望未来，陶盛信心满满，“我们致力于通过高效的生产工艺和优质的再生晶圆产品，为客户提供更多的价值。”（记者　陈双）　

　　编辑：郭明磊