全国首家省级集成电路产业计量测试中心在汉成立

　　“常温25℃测试、低温-55℃测试、高温125℃测试，还有-55℃～125℃循环测试5次。”近日，长江日报记者在湖北省集成电路产业计量测试中心看到，一块块集成电路板在“冰柜”和“火炉”之间来回“煎熬”，经历着不同温度下的严苛筛选。

　　湖北省集成电路产业计量测试中心最近通过验收，成为全国第一家省级集成电路产业计量测试中心。

　　具有自主知识产权的测试设备攻关微纳米尺度下精密测量技术。长江日报记者 刘斌 摄

　　集成电路领域计量基础能力建设走在全国前列

　　记者获悉，湖北省集成电路产业计量测试中心由中国船舶集团第七〇九研究所筹建，通过考核验收并获批成立，标志着湖北省在集成电路领域计量基础能力建设走在全国前列，服务经济社会发展的能力水平有了新的突破。

　　集成电路产业属于国家十大重点产业“新一代信息技术产业”领域，俗称“芯片”产业，是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。

　　湖北省目前拥有芯片设计、芯片制造、封装材料等相关企业200多家，是国家集成电路产业四大集聚区之一。集成电路产业也是武汉大力发展的重点产业之一。2022年1月，武汉市发布了《关于促进半导体产业创新发展的意见》，到2025年，武汉市的芯片产业产值将超过1200亿元。

　　作为集成电路的“主产地”，武汉光谷正在形成一个完整的集成电路产业链，包括材料、设计、制造、封装测试和应用完成等环节。

　　湖北省集成电路产业计量测试中心相关负责人介绍，该中心建设目的在于找到并解决集成电路产业发展过程中核心关键参数的测量问题，解决“测不了、测不全、测不准”的痛点难点，保障集成电路产业的高质量发展。

　　省、市市场监管局相关负责人表示，作为重要的计量技术资源，该中心可以为湖北省内及周围省市集成电路相关企业的产业发展提供专业、高端计量检测服务和科技创新服务平台，可缩短产品的检测、研发和生产周期，助力武汉建设具有全国影响力科技创新中心。

　　具有自主知识产权的测试设备攻关微纳米尺度下精密测量技术。长江日报记者 刘斌 摄

　　攻关微纳米尺度下精密测量技术

　　记者在湖北省集成电路产业计量测试中心看到，由中国船舶集团第七〇九研究所自主研发的四探针测试系统上，设备正在进行最后阶段的性能调试，对晶圆的镀膜厚度进行检测试验。

　　晶圆是指集成电路生产制造所用的高纯度硅晶片，是生产集成电路所用的载体，集成电路工艺生产中对晶圆的镀膜厚度最小可接近10纳米，仅为一根头发丝直径的1/6000。工艺检测设备不仅要测得出，还要测得准。

　　该中心计量科研工程师介绍，四探针测试系统用于监控半导体工艺制程中电阻率、金属薄膜厚度等参数，缩小国产四探针测试设备与进口产品在自动化程度、测试精度、测试速度等方面的差距。除支持现阶段主流6英寸—12英寸晶圆测试，还可兼容未来更先进的18英寸晶圆，是半导体工艺生产中的重点检测设备之一。

　　集成电路测试的一些项目包括外观检查，常温及低温、高温等不同条件下判断元器件是否能达到正常性能参数等检测项目。该中心检测组负责人举例，手机在热得发烫的情况下还能正常运转，就要求其中的集成电路板或者芯片事先通过严格检测。

　　晶圆镀过膜后明亮如镜。长江日报记者 刘斌 摄

　　全国集成电路测试系统计量服务近七成由这里提供

　　据悉，全国集成电路测试系统的计量服务近七成由位于武汉光谷的该中心提供。

　　该中心通过开展集成电路关键参数测试技术等研究，“磁吸”一批龙头企业、高校、科研机构、设备制造商、其他计量技术机构等群体，形成集成电路产业技术联盟，向全国范围辐射。近年来为国内120余家单位提供集成电路测试系统计量服务。

　　中心建立了多项集成电路参数最高计量标准，集成电路测试能力处于国内第一梯队，具备处理器、存储器等高性能集成电路测试能力，现有计量能力覆盖国内在用集成电路测试系统90％以上。

　　该中心成立后，可为湖北省乃至中部地区各类芯片提供全产业链、全生命周期、全溯源链和前瞻性的计量测试服务，助力打造万亿级光电子信息产业，同时支撑集成电路产业高质量发展。

　　（长江日报记者刘睿彻 唐煜 通讯员熊瑊 陈谦）

　　【编辑：王戎飞】