探访国家存储器基地芯片生产车间 洁净度超过手术室

国家存储器基地项目(一期)一号芯片生产厂房蓝图。记者高勇 摄

　　长江网5月15日讯(长江日报记者黄琪 通讯员刘刚建)15日，长江日报记者探访国家存储器基地芯片生产车间换装区，刚走到门口，记者就明显感到有股风迎面吹来。原来，这是洁净室内的排气系统利用风压，把风往外吹，这样就能把灰尘隔绝在外面。

　　芯片就是在这样的无尘空间里生产出来的。车间的换装区洁净程度等级为Class10000，也就是说，每立方英尺内大于等于0.5um(微米)的灰尘颗粒不能超过10000颗。里面的生产区洁净度是Class100，与进行器官移植手术的最洁净的手术室相当。在芯片原材料——晶圆所暴露的直接生产区，洁净度是Class1，比手术室还洁净一百倍。

　　这是全球单座洁净面积最大的3D闪存芯片生产厂房。“洁净室是按照全球最高标准建设的，只有这样的洁净室才能生产出我们需要的高质量芯片。”长江存储厂务部负责人张朝万说。

　　芯片生产区域装配有空气循环系统，天花板上布满细密的小网格，这些是空气过滤器，脚下则是高架地板，气流从上到下流动，灰尘被带入地板下，空气经过滤处理后再循环至天花板。

　　我国自主研发的第一批32层三维闪存芯片，今年内就要在这里量产。这个芯片耗资10亿美元，由1000人的团队用了两年时间研发出来，拥有完全自主知识产权。目前，64层的三维闪存芯片也正在紧锣密鼓地研发当中，有希望明年量产。这标志着中国企业在填补芯片领取空白迈出了重要一步，进一步拉近了我国在高端芯片领域与少数先进国家的距离。

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